產品型號

HVS-03G高真空分子泵系統

主要特點

HVS-03G分子泵機組是一臺清潔的高真空獲得設備。此設備是根據真空知識原理，利用機械泵、渦輪分子泵組合成真空獲得系統，具有啟動時間快、真空度高、操作方便等特點。廣泛應用于表面分析、加速器技術、等離子體技術、電真空器件制造及真空的各個領域。設備的具體組成主要包括真空測量系統、真空室、閥門及真空管路、電器控制系統等。

技術參數

1、分子泵機組極限真空度（空載）：≤9×10-5Pa

2、真空系統漏率：≤5×10-9PaM3/s

3、電源：220v±10/50Hz

4、電源插頭：16A

5、冷卻方式：水冷或風冷（環境溫度5-40℃）

6、平臺承重：≤100kg

7、真空規參數：ZDF-11A2

測量范圍：1.0×10⁵ ～1×10^-5Pa

配接規管：ZJ-52T一只，ZJ-27一只

注意事項

1、拆開包裝箱，將設備從箱體中取出，檢查設備有無損壞，將設備的電源線接好，檢查地線與設備是否接好。

2、在接入供電電源時，務必要確認是否和設備要求的電源電壓相符。

設備安裝應在平地上，豎直方向上與垂直方向上與垂直方向夾角小于5°。安裝后要固定腳輪。

3、機械泵的排氣口必須順暢，不得在封堵排氣口情況下啟動泵。

4、機械泵在運轉前檢查油位，不要在泵沒有加油或缺油的情況下使用否則會造成泵的失效。

5、觀察機械泵油顏色，正常泵油是清潔和透明的；若泵油顏色變暗火渾濁時需要換油。切勿在泵溫較高的情況下換油，必須等泵冷卻到低于50℃的溫度時方可換油。

6、分子泵正常運轉時,請盡量避免在泵體及控制器附近施加比較大的或是頻繁的震動,避免沖擊鉆作業和任何會產生較大磁場的作業。

7、啟動分子泵前，系統壓強≤100 Pa。